中层石英管出口做成喇叭形，通入Ar气维持等离子体的作用，有时也可以不通Ar气。

内层石英管内径约为1-2mm，载气载带试样气溶胶由内管注入等离子体内。

试样气溶胶由气动雾化器或超声雾化器产生。用Ar做工作气的优点是，Ar为单原子惰性气体，不与试样组分形成难解离的稳定化合物，也不会象分子那样因解离而消耗能量，有良好的激发性能，本身的光谱简单。